化学机械抛光液根据磨料成分一般分为单一磨料抛光液，混合磨料抛光液，复合磨料抛光液
磨料在CMP抛光过程中起到的作用为：
（1）机械作用的实施者，起机械磨削作用；
（2）传输物料的功能，不仅将新鲜浆料传输至抛光垫与被抛材料之间，还将反应物带离材料表面，使得材料新生表面露出，进一步反应去除。
所以选择CMP化学机械抛光液slurry时记得考虑分散性好，流动性好，硬度适中，易于清洗的抛光液产品，选择靠谱抛光液厂家很重要！有相关问题可以咨询吉致电子17706168670。
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